ชื่อผลิตภัณฑ์: โมดูล SFS 1000 sccm

คำอธิบาย: โมดูลการไหลของมวลความร้อนที่มีเอาต์พุตดิจิตอล/อนาล็อกที่เป็นเชิงเส้น

รายละเอียด: โมดูลการไหลที่รวดเร็วและกะทัดรัด เหมาะสำหรับระบบการจ่ายก๊าซ, manifold และเครื่องวิเคราะห์ การติดตั้งง่ายด้วยการออกแบบที่กะทัดรัด การสอบเทียบจากโรงงาน และขาเพื่อการตั้งค่า HW address

การเชื่อมต่อของไหล: เข้ากันได้กับเครื่องวัดการไหลแบบ OEM (Axetris MFM 2020, MFM 2021, MFM 2xxx)

โมดูลเครื่องวัดการไหลของมวลแบบสองทิศทางนี้ยังมีให้เลือกในช่วงอัตราการไหลที่ต่ำกว่า:

• +/- 200 sccm
• +/- 50 sccm

ชื่อผลิตภัณฑ์: SFS01-M-01000

ช่วงการไหลที่ทำงาน: +/- 1000 sccm (ml/min)

สื่อที่วัด: การไหลของก๊าซ

ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน: 0 ถึง 80 °C

ขนาดตัวเครื่อง: 48 x 34 x 14.5 mm

วัสดุของตัวเครื่อง: อลูมิเนียม, FR4

การเชื่อมต่อของฟลูอิด: Ø 2.2 mm i.D. แผ่นยางกั้น

ประเภทการเชื่อมต่อ: PCB connector JST SM08B-SRSS-TB

เวลาตอบสนอง t63: 20 ms

น้ำหนัก: 30 g

แรงดันไฟฟ้าจ่าย: 5V DC +/- 5%

สัญญาณออก: I2C หรือ 0 ถึง 1 V

ความแม่นยำ: 2% f.s. (สัญญาณดิจิตอล)

การทำซ้ำ: 0.2 % f.s.

รหัสผลิตภัณฑ์: 154807